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硅片在硅片研磨機上一道有幾種表面處理方法和步驟

來源:方達研磨 日期:2019-11-01 15:09:13 人氣:3986

很多人都問硅片是怎么處理的,那么下面我們來講講硅片在硅片研磨機前一道工序的處理方法。有以下幾種:

一、硅片預處理:

(1).硅片切割:根據所需大小用玻璃刀進行硅片切割。

 操作是需要在潔凈的環境中,并帶一次性手套避免污染硅片。桌面上放一張干凈的稱量紙,用鑷子夾硅片的邊緣,將硅片正面朝上放在稱量紙上, 然后再取一張干凈的稱量紙覆蓋在硅片的表面,留出硅片需要切割的部分,將切割專用的直尺放于覆蓋硅片的紙上壓住直尺,不超過待切割的紙面,以防直尺污染硅片。切割時玻璃刀沿直尺稍用力平行滑動,不至于蔣硅片劃開,而是在硅片表面形成一道清晰的劃痕。(避免手套與硅片表面直接接觸)

大硅片切割可在硅片表面形成表格,用手沿著網格線輕輕掰動,可形成大小合適的硅片。

將切割好的硅片用鑷子小心夾持,放在干凈的塑料平皿內,正面朝上,用封口膜封好,放在干凈處保存待用。

二、硅基片表面的羥基化處理

(2)將切割好的硅片置于干凈的羥化燒杯中(專用),正面朝上。

用去離子水清洗3次,清洗時稍用力,使硅片能夠在燒杯中旋轉起來,以減少硅片之間的摩擦碰撞;將水倒干凈后,用移液管(過氧化氫專用)網燒杯中加入5ml過氧化氫(H2O2,再加入(濃硫酸專用)15ml濃硫酸(H2O24),在搖床上緩慢或靜止30分鐘使之充分反應,可使表面羥基化。

然后再按以上的方法清洗, 燒杯口的向下傾慢慢轉動燒杯,使燒壁上的濃硫酸能洗去。清洗結束后,用大量的水保存硅拋片,硅片的正面朝上。

三、硅基片表面的氨基化處理

(3)取出氨化燒杯,先用無水乙醇清洗2次,然后倒入20ml無水乙醇,將步驟(2)反應后獲得的羥基化硅片轉到氨化燒杯中,用無水乙醇清洗3次,清洗時同步驟(2)。清洗完后倒掉乙醇,加入3-氨基丙基三一乙氨基硅烷(APTES)和無水乙醇的混合液(1:15)或先加入無水乙醇,然后用移管加APTES,然后振搖2h。 結束后可以是硅片表面氨基化。

四、硅基片的甲基化處理

(4)倒掉上步反應液體,用無水乙醇清洗3次,清洗步驟同上。洗完后吧硅片移到羧基化燒杯中,燒杯中含琥珀酸酐的無水乙醇飽和溶液,搖床振搖3h以上,反應結束后可使硅片表面羧基化。然后用無水乙醇清洗,用大量無水乙醇中保存待用。注意:保持各專用燒杯清潔,處理過程中的硫酸要收集到廢液瓶中,做好標記。

五、硅基片的醛基化處理

(5)接上步驟(3),倒掉反應液體,用無水乙醇清洗3次,以除去氨基硅烷再用去離子水清洗3次,以除去無水乙醇,避免與醛基反應。然后再用PBS溶液清洗2次,形成PBS環境,然后倒掉PBS溶液,將硅片亮面朝上,加入PBS的混合液和戊二醛(1:10)搖床振動反應1h。反應結束后可使硅基片形成醛基化。倒掉反應液體,用大量PBS清洗3次,然后鍵醛基化的硅片保存于PBS溶液中,以待下一步使用。


硅片的處理方法有很多種,這里只是簡單了描述以上的這幾種,這就是硅片在硅片在硅片研磨機前上一道工序的其中的五種處理方法。

硅片研磨后的效果


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